ASML:DUV光刻機中國隨便買,不受美國限制

2020-10-17 23:50:10 2585 views
摘要

眾所周知,光刻機是晶元製造中最最關鍵的設備,任何晶元製造企業都繞不開。所能不能從ASML買到光刻機,成為了全球所有晶元製造企業最重要的事情,尤其是能不能買EUV光刻機,是晶元製造企業們技術能不能進入7nm或以下的關鍵,沒有光刻機,一切免談。

眾所周知,光刻機是晶元製造中最最關鍵的設備,任何晶元製造企業都繞不開。而目前光刻機技術最強的企業是ASML,它生產的光刻機能夠用於製造5nm的晶元。

並且目前世界上只有ASML能夠生產EUV光刻機,而EUV光刻機是製造7nm或以下工藝晶元必不可少的光刻機。

ASML:DUV光刻機中國隨便買,不受美國限制

當然,全球不只ASML能生產光刻機,還有中國的上海微電子、日本的尼康、佳能都能夠生產的,只是大家的技術離ASML還有很遠。

如下圖所示,ASML的工藝節點在5nm,在各個工藝節點都有覆蓋,而佳能最多是90nm,上海微電子也最高是90nm,尼康最高在28nm。

ASML:DUV光刻機中國隨便買,不受美國限制

所能不能從ASML買到光刻機,成為了全球所有晶元製造企業最重要的事情,尤其是能不能買EUV光刻機,是晶元製造企業們技術能不能進入7nm或以下的關鍵,沒有光刻機,一切免談。

近日ASML總裁兼CEO Peter Wennink 在三季度財報發布會上明確表示,阿斯麥從荷蘭向中國客戶提供的DUV光刻機,無需美國出口許可證。

這則消息一傳出,讓網友們興奮不已,覺得這下大家不用擔心了,但事實上,大家並沒有看清楚具體的字母。

ASML:DUV光刻機中國隨便買,不受美國限制

對方的說是DUV,不是EUV,DUV光刻機是指(深紫外線光刻機),而EUV光刻機是指(極紫外線光刻機),其中DUV能夠支持的工藝最多達到25nm。

而EUV才是能夠用於7nm或以下工藝的晶元製造,這兩種是完全不同的光刻機,大家不要高興得太早了。而目前中國大陸的晶元製造技術,早進入了14nm,這DUV光刻機,並不能解決尖端工藝進步問題,只能用於成熟工藝。

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